中国光刻机专利申请数量排名全球第一　　近年来，随着微电子和半导体工业的迅速发展，光刻机技术的重要性日益凸显。而在这个领域，中国的专利申请数量排名全球第一，其中最为活跃的企业是ASM半导体设备（上海）有