光刻机专利问题：探讨其合法性　　随着半导体行业的不断发展，光刻机作为制造芯片的关键工具，也逐渐成为了各大厂商竞相追逐的焦点。然而，光刻机的核心技术多由少数几家企业掌握，这就给相关公司带来了专利问题的困