光刻机技术的专利保护　　随着科技的不断发展，光刻机技术已成为半导体制造中非常重要的环节。光刻机的作用是将电路图案投影到硅片上，因此其精度和稳定性非常重要。为了保护光刻机技术的创新成果，专利保护成为了制