光刻机相关专利 ——助推芯片制造行业高速发展　　随着移动互联网和人工智能的崛起，芯片制造行业的需求日益增长。而作为芯片制造过程中必不可少的设备——光刻机，更是越来越受到关注。 　　光刻机作为一种用于制