光刻机专利是公开的　　光刻技术广泛应用于集成电路和平面显示器等领域，成为微电子工业的关键技术之一。在光刻技术中，光刻机是其中非常重要的设备，它可以通过将芯片层图形转移到半导体材料上，实现微细加工。