光刻机是一种非常重要的半导体制造设备，广泛应用于生产微处理器、集成电路和其他电子元件。然而，像许多其他技术一样，光刻技术也不可避免地牵涉到专利保护的问题。在光刻技术中，许多不同的技术和方法都被专利保护