中国光刻机专利：掌握自主核心技术，加速产业发展　　光刻技术是半导体行业中不可或缺的重要环节，也是半导体芯片制造中的核心技术之一。在过去的几十年里，世界各国一直在进行光刻机技术的研发，以求在制造芯片的效