关于e∪v光刻机中国专利的数量探究　　e∪v光刻机是一种常用于芯片制造的设备，其高精度和高效能在电子行业拥有广泛的应用。近年来，中国在芯片制造领域逐渐崛起，e∪v光刻机在中国的专利数量也不断增加。