光刻机中国专利: 提升科技创新竞争力　　自20世纪80年代初期，中国便开始在微电子制造方面逐步积累经验、总结经验。在改革开放的政策下，中国的科技创新不断蓬勃发展，其中光刻机技术和专利的重要性日益凸显。