光刻机中国专利：开创新时代　　光刻机是现代半导体制造过程中不可或缺的一环。随着微电子技术的迅猛发展，光刻机的需求越来越大，然而，早期的产品主要依赖国外技术和专利，中国的光刻机制造业一直处于被动地位。但