光刻机专利 保护多少年？　　光刻机是半导体制造中必不可少的设备之一，它通过光学照射和化学反应来制造微电子元件。由于光刻机在半导体制造中的重要性，许多公司投入大量资金进行研发，因此在光刻机领域也有不少专