光刻机专利 是公开的　　光刻机是集成电路制造中最核心的设备之一，它可以通过光学投影技术将芯片电路图案投射到硅片上，进而完成芯片制造。但是，光刻机的制造和技术相对复杂，因此它也是一个被广泛申请和拥有专利