KR102519970B1
有效
真空泵及其叶片部件、转子和定叶片
[问题]一种真空泵,能够在不损害真空泵的气体分子排气性能的情况下,有效地防止颗粒从真空泵回流到真空室中,适用于防止颗粒回流污染真空室,并提供叶片使用的零件和转子和固定叶片。
[解决方案] 真空泵具有多个排气级PT,作为在进气口和排气口之间排出气体分子的装置,以及多个排气级PT中最上面的排气级(作为颗粒输送级,用于输送PT(PT1)与进气口之间的气体分子的排气方向的粒子,与构成最上部排气级(PT1)的旋转叶片7(71、75)一起旋转。此外,叶片数量NB较小设置了比构成最上排气级PT1的旋转叶片7的数量还多的旋转叶片7。
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| 专利时间轴 | |
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| 专利类型/受理局 | PATENT( KR) |
| [标]当前申请（专利权）人 | 에드워즈 가부시키가이샤 |
| 当前申请（专利权）人 |
에드워즈 가부시키가이샤 일본국 치바켄 야치요시 요시하시 1078-1 |
| [标]原始申请（专利权）人 | 에드워즈 가부시키가이샤 |
| 原始申请（专利权）人 | 에드워즈 가부시키가이샤 일본국 치바켄 야치요시 요시하시 1078-1 |
| IPC分类号 |
IPC(8):
F04D19/04F04D29/32
+2
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| 技术主题分类 | |
| 应用领域分类 | |
| 发明人 |
노나카 마나부 (일본국 치바켄 야치요시 요시하시 1078-1 에드워즈 가부시키가이샤 내) 에노사와 히데키 (일본국 치바켄 야치요시 요시하시 1078-1 에드워즈 가부시키가이샤 내) |
