KR102519970B1
有效
真空泵及其叶片部件、转子和定叶片
权利要求 1
在进气口和排气口之间具有多个排气级,作为排出气体分子的装置,多个排气级由每个排气级以预定间隔呈放射状排列的多个旋转叶片和固定叶片组成。 . 一种真空泵,具有在多个排气端中最上端的排气端和进气口之间通过沿气体分子的排气方向输送粒子的粒子传送级来排出气体分子的结构,其中,与进气口一起旋转构成最上排气端的多个旋转叶片,设置有比构成最上排气端的多个旋转叶片的数量少的叶片,叶片的高度由下式(1)表示一种真空泵,其特征在于满足:Zp2≥(πD·n/N)×Vp/Vr。 式(1) Zp2:叶片的高度 D:直径的尺寸 n (D)部分:位于叶片之间的旋转叶片的数量 N:构成最上端排气端的旋转叶片的数量 Vp:颗粒下落速度 Vr:叶片转速
权利要求 2
2.根据权利要求1所述的真空泵,其特征在于, 构成所述粒子输送级的叶片与构成最上位的排气级的多个旋转叶片相邻设置。
权利要求 3
2.根据权利要求1所述的真空泵的制造方法,其特征在于,构成所述粒子输送级的叶片与构成最上层排气级的多个旋转叶片中的至少一个旋转叶片的全部或一部分一体安装。
权利要求4
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在构成最上排气级的多个旋转叶片中,与构成颗粒输送级的叶片相邻的旋转叶片的高度由构成颗粒输送级的叶片确定。构成最上段排气级的多个旋转叶片呈阶梯式结构,其上游端的高度整体不同。
权利要求5
5.根据权利要求4所述的方法,在构成最上排气端的多个旋转叶片中设置具有通过阶梯结构升高的上游端的旋转叶片,以及在旋转叶片的旋转方向上定位在前方的旋转叶片。真空泵,其特征在于,该间隔设定得比多个其他旋转叶片的排列间隔宽。
权利要求 6
5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于, 构成最上端排气端的多个旋转叶片中,上游端被阶梯结构抬高的旋转叶片的位于旋转方向前方的下游端为真空泵。其特征在于,它从多个旋转叶片的下游端沿进气口方向进入。
权利要求 7
5.根据权利要求4所述的方法, 在构成最上排气端的多个旋转叶片中,其上游端被阶梯结构升高的旋转叶片的下游端延伸得比其他多个旋转叶片的下游端更长. 一种真空泵,其特征在于。
权利要求8
5.根据权利要求4所述的真空泵,其特征在于,所述台阶结构的所述台阶的高度设置为阶梯式变化。
权利要求 9
5.根据权利要求4所述的真空泵,其特征在于,所述台阶结构的所述台阶的高度呈锥形变化。
权利要求 10
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,构成所述颗粒输送级的叶片作为单独部件安装在构成所述最上排气级的多个旋转叶片中的至少一个旋转叶片的全部或一部分上。 .
权利要求 11
2.根据权利要求1所述的真空泵,其特征在于, 构成所述粒子输送级的叶片的仰角被设定为比构成最上位的排气级的多个旋转叶片的仰角小。
权利要求 12
12.根据权利要求1至11中任一项所述的真空泵,其特征在于, 构成所述粒子输送级的叶片设置在远离构成最上部排气级的多个旋转叶片的位置。
权利要求 13
13.一种叶片部件,其用于权利要求12所述的真空泵,具备构成所述粒子输送台的叶片。
权利要求 14
在进气口和排气口之间具有多个排气级,作为排出气体分子的装置,多个排气级由每个排气级以预定间隔呈放射状排列的多个旋转叶片和固定叶片组成。 . 一种真空泵,具有通过降低构成最上排气端的多个旋转叶片的上游端的至少一部分的高度来排出气体分子的结构,从而具有阶梯结构,其中上游端的高度,整体上不同,是在气体分子的排气方向输送粒子的粒子输送阶段,高旋转叶片的至少一部分突起满足下式(2)。 Zp2≥ (πD·n/N)×Vp/Vr…… 式(2) Zp2:高旋叶突出部分的尺寸 D:直径(D)部分的尺寸n:位于高旋叶之间的旋叶数 N:构成最上端排气端的旋叶数blades Vp: 颗粒的下落速度 Vr: 旋转叶片的转速
权利要求 15
15.根据权利要求14所述的真空泵,其特征在于,所述台阶结构的所述台阶的高度设置为阶梯式变化。
权利要求 16
15.根据权利要求14所述的真空泵,其特征在于,所述台阶结构的所述台阶的高度呈锥形变化。
权利要求 17
17.一种转子,用于权利要求1~11或14~16中任一项所述的真空泵,其具备构成粒子输送台的叶片。
权利要求 18
17.根据权利要求1至11或14至16中任一项所述的真空泵的方法,其特征在于,作为最上排气端上游的反射装置,与构成最上排气端的多个旋转叶片呈相反角度。安装了倾斜的固定刀片。
权利要求 19
技术方案18所述的真空泵中,在最上排气端的上游侧,作为反射机构的固定叶片以与构成最上排气端的多个旋转叶片相反的角度倾斜。 .
