CN218826974U
有效
一种用于晶圆的热辐射装置
本实用新型涉及热辐射设备技术领域，具体涉及一种用于晶圆的热辐射装置。所述用于晶圆的热辐射装置包括加热板、冷却板和安装板；所述加热板底部安装有加热机构，所述加热机构均匀分布于所述加热板上，且其中心处留设有空白区域；所述冷却板安装在所述加热板顶部，其用以对所述加热机构进行冷却；所述安装板安装在所述冷却板顶部。本实用新型解决了现有技术中用于加热晶圆的热辐射装置多以呈螺旋状由内至外均匀绕设的发热丝进行产热，如此，因晶圆中心与外缘散热的不同，易导致晶圆中心温度高而外缘温度低，影响晶圆热处理时均匀性的问题。
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| 专利时间轴 | |
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| 专利类型/受理局 | UTILITY( CN) |
| [标]当前申请（专利权）人 | 广东库锐特科技有限公司 |
| 当前申请（专利权）人 |
广东库锐特科技有限公司 523000 广东省东莞市虎门镇树安银泰南路6号2栋301室 |
| [标]原始申请（专利权）人 | 广东库锐特科技有限公司 |
| 原始申请（专利权）人 | 广东库锐特科技有限公司 523000 广东省东莞市虎门镇树安银泰南路6号2栋301室 |
| IPC分类号 |
IPC(8):
H01L21/67H05B3/00
+2
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| 技术主题分类 | |
| 应用领域分类 | |
| 发明人 |
黄日红 肖剑文 黄廷飞 |
| 代理机构 |
东莞市华南专利商标事务所有限公司 (谢晓云) |
