1.一种用于晶圆的热辐射装置，其特征在于：包括加热板、冷却板和安装板，其中：
所述加热板底部安装有加热机构，所述加热机构均匀分布于所述加热板上，且其中心处留设有空白区域；
所述冷却板安装在所述加热板顶部，其用以对所述加热机构进行冷却；
所述安装板安装在所述冷却板顶部。
2.根据权利要求1所述一种用于晶圆的热辐射装置，其特征在于：所述加热机构包括若干LED灯珠，若干所述LED灯珠呈阵列排布于所述空白区域的外周。
3.根据权利要求2所述一种用于晶圆的热辐射装置，其特征在于：所述加热板上设有若干第一螺孔，所述第一螺孔开设于若干所述LED灯珠之间；所述冷却板上开设有与所述第一螺孔相对应的第二螺孔；所述加热板通过螺钉与所述第一螺孔及所述第二螺孔配合以固定连接在所述冷却板底部。
4.根据权利要求1所述一种用于晶圆的热辐射装置，其特征在于：所述冷却板顶部开设有均匀分布的冷却水道，该冷却板上设有与所述冷却水道相连通的进水口和出水口。
5.根据权利要求4所述一种用于晶圆的热辐射装置，其特征在于：所述冷却板和所述安装板之间设有内密封件和外密封件，所述冷却水道设于所述内密封件和所述外密封件之间。
6.根据权利要求5所述一种用于晶圆的热辐射装置，其特征在于：所述安装板的底部分别开设有与所述内密封件和所述外密封件相对应的定位卡槽。
7.根据权利要求5所述一种用于晶圆的热辐射装置，其特征在于：所述内密封件包括橡胶圈。
8.根据权利要求5所述一种用于晶圆的热辐射装置，其特征在于：所述外密封件包括橡胶圈。
9.根据权利要求4所述一种用于晶圆的热辐射装置，其特征在于：所述冷却板上安装有进水管和出水管，所述进水管与所述进水口相连接，所述出水管与所述出水口相连接。
10.根据权利要求9所述一种用于晶圆的热辐射装置，其特征在于：所述冷却板中部安装有一法兰盘，所述进水管和所述出水管伸入所述法兰盘内部。
