KR102520818B1
有效
具有突出电极的洗涤器、包括该洗涤器的洗涤器系统、洗涤器驱动方法
本发明提供一种能够防止电弧集中并使电极和外壳的蚀刻最小化的洗涤器。
根据本发明的实施例的具有突出电极的洗涤器包括用于产生等离子弧的等离子发生器和连接到等离子发生器并为工艺气体提供分解空间的反应器,其中等离子发生器具有驱动电压它包括外加电极和围绕电极并形成放电空间的外壳,电极从外壳的下端突出并可插入反应器中。
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| 专利时间轴 | |
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| 专利类型/受理局 | PATENT( KR) |
| [标]当前申请（专利权）人 | 한국기계연구원 |
| 当前申请（专利权）人 |
한국기계연구원 대전광역시 유성구 가정북로 156 (장동) |
| [标]原始申请（专利权）人 | 한국기계연구원 |
| 原始申请（专利权）人 | 한국기계연구원 대전광역시 유성구 가정북로 156 (장동) |
| IPC分类号 |
IPC(8):
B01D53/32B01D53/70H05H1/34
+3
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| 技术主题分类 | |
| 应用领域分类 | |
| 发明人 |
이대훈 (대전광역시 유성구 반석서로 98) 김관태 ( 609동 1703호(반석동) 송영훈 ( 반석마을6단지아파트)) 강홍재 (세종특별자치시 반곡로 14) 송호현 ( 101동 203호(반곡동) 이희수 ( 수루배마을1단지)) 김유나 (대전광역시 유성구 엑스포로 448) |
