权利要求 1

产生等离子弧的等离子发生器; 反应器连接到等离子体发生器并提供用于处理气体的分解空间,其中等离子体发生器包括施加有驱动电压的电极和围绕电极以形成放电空间的外壳,外壳包括至少壳体上形成有用于向壳体内注入处理气体的处理气体喷出孔,电极从壳体下端突出并插入反应器内,比处理气体喷出孔向下突出。 .

权利要求5

产生等离子弧的等离子发生器; 反应器连接到等离子体发生器并提供处理气体的分解空间,其中等离子体发生器包括施加有驱动电压的电极和围绕电极以形成放电空间的外壳,其中电极突出从壳体下端插入反应器,电极外周面形成第一弧点,壳体内表面形成第二弧点,第一弧点沿并且,第二圆弧点为具有突出电极的洗涤器,其特征在于沿壳体的内圆周表面移动。

权利要求 12

产生等离子弧的等离子发生器; 反应器连接到等离子体发生器并提供处理气体的分解空间,其中等离子体发生器包括施加有驱动电压的电极和围绕电极以形成放电空间的外壳,其中电极从壳体下端插入反应器内,壳体上形成第一供气口,含全氟化合物的处理气体流过第一供气口,反应气体流入壳体内的第二供气口。形成反应气体流动的第二供气管与第二供气孔连接,处理气体流动的第一供气管与第一供气孔连接,第一供气管和第二供气管移动.一种具有突出电极的洗涤器,其特征在于,供应管连接至分支管,用于将流经第一供应管的处理气体移动至第二供应管。

权利要求 17

产生并释放等离子弧的洗涤器; 接收来自洗涤器的气体并喷水进行湿处理的湿处理单元; 湿塔,用于对从湿处理单元排出的气体喷水进行湿处理,其中洗涤器连接到等离子体发生器,用于产生电弧和等离子体,以及用于分解处理气体的空间。等离子体发生器包括施加有驱动电压的电极,以及包围电极并形成放电空间的外壳,其中外壳包括至少一个处理气体注入口,用于将处理气体注入外壳。形成有孔,电极从壳体的下端插入反应器内,洗涤器系统,其特征在于,比处理气体注入孔向下突出。

权利要求 21

电弧产生步骤通过等离子体产生单元的电极从接地壳体的底部突出在电极的外周表面和壳体的内表面之间产生电弧,以及旋转电弧的电弧旋转步骤一种洗涤器的驱动方法,其特征在于,在所述生弧步骤中,在所述电极的外圆周面上形成第一电弧点,所述第一电弧点沿电弧旋转步骤中电极的外周面。

权利要求 23

电弧产生步骤通过等离子体产生单元的电极从接地壳体的底部突出在电极的外周表面和壳体的内表面之间产生电弧,以及旋转电弧的电弧旋转步骤通过向壳体内部通入工艺气体使其旋转。包括,在生弧步骤中,在电极的外周面形成第一电弧点,在电极的内周面形成第二电弧点。壳体,其中壳体具有与电极形成第一间隙的第一管部和与第一间隙形成第二间隙的第二管部,第二圆弧点形成于第一管的内周面后管部在电弧生成步骤中,第二圆弧点由电弧的发展形成。

权利要求 25

电弧产生步骤通过等离子体产生单元的电极从接地壳体的底部突出在电极的外周表面和壳体的内表面之间产生电弧,以及旋转电弧的电弧旋转步骤包括,电弧产生步骤向第一供气口供应处理气体,向第二供气口供应反应气体,但电弧旋转步骤停止供应工艺气体。将反应气体供应至第二供气口,洗涤器驱动方法的特征在于,将工艺气体连续供应至第一供气口。