随着信息技术迅速发展，电子工业不断向前迈进。其中的一项关键技术就是半导体制造，而半导体制造的核心工具之一便是光刻机。光刻机作为半导体行业核心设备之一，其制造相关的专利成为制造商必须关注的重点。