光刻机专利是公开的　　光刻机是一种微电子加工设备，在集成电路、光电子、微机电系统等领域得到广泛应用。在光刻机的发展历程中，专利技术一直扮演着重要的角色。光刻机相关的专利涉及到制造工艺、设备结构、光学系