CN115954043A 审中 一种非对称差分式微纳直线运动平台及工作方法
1.一种非对称差分式微纳直线运动平台,其特征在于,包括:运动基座和固定基座,运动基座与固定基座滑动连接,可沿固定基座纵向移动,运动基座用于安装驱动对象;
运动基座和固定基座之间设有驱动机构,驱动机构用于带动运动基座相对固定基座产生一定位移量;
所述驱动机构包括驱动器和两个非对称支撑梁,驱动器用于同时对两个非对称支撑梁施加横向压力,利用非对称支撑梁的两个支撑梁存在强度差异,从而使得非对称支撑梁相对驱动器纵向产生一定位移量。
2.如权利要求1所述的非对称差分式微纳直线运动平台,其特征在于,所述非对称支撑梁包括两个支撑梁,分别为弱支撑梁和强支撑梁,弱支撑梁与强支撑梁平行设置,两个支撑梁之间具有设定距离形成间隙,两个支撑梁的间隙处可容置驱动器的驱动杆。
3.如权利要求2所述的非对称差分式微纳直线运动平台,其特征在于,所述弱支撑梁和强支撑梁的根部设有半圆槽,半圆槽的尺寸影响弱支撑梁和强支撑梁的强度大小。
4.如权利要求2所述的非对称差分式微纳直线运动平台,其特征在于,所述弱支撑梁和强支撑梁一端安装在运动基座的侧面,另一端为自由端。
5.如权利要求4所述的非对称差分式微纳直线运动平台,其特征在于,所述弱支撑梁和强支撑梁的自由端均具有导向斜面。
6.如权利要求1所述的非对称差分式微纳直线运动平台,其特征在于,所述驱动器包括驱动固定座、压电陶瓷和驱动杆,压电陶瓷设置在驱动固定座上,压电陶瓷侧面安装有至少一个驱动杆,驱动杆用于对两个非对称支撑梁施加横向压力。
7.如权利要求6所述的非对称差分式微纳直线运动平台,其特征在于,所述驱动杆与非对称支撑梁接触的一端设有斜面。
8.如权利要求6所述的非对称差分式微纳直线运动平台,其特征在于,所述驱动杆设有两个,分别为第一驱动杆和第二驱动杆,第一驱动杆安装在压电陶瓷的一侧,第二驱动杆安装在压电陶瓷的另一侧,压电陶瓷可同时推动两个驱动杆相对运动。
9.如权利要求1所述的非对称差分式微纳直线运动平台,其特征在于,所述固定基座与运动基座之间设有导轨。
10.一种如权利要求1-9任一项所述的非对称差分式微纳直线运动平台的工作方法,其特征在于,包括:通过驱动器同时对两个非对称支撑梁施加横向压力,非对称支撑梁的两个支撑梁存在强度差异,受横向压力后形变量不同从而驱动运动基座产生一定位移量。
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