CN115940878A 审中 体声波谐振器滤波器和体声波谐振器封装件
1.一种体声波谐振器滤波器,包括:
串联部,包括串联电连接在第一射频端口和第二射频端口之间的至少一个串联声波谐振器;以及
多个分流声波谐振器,在所述串联部的第一节点与第一接地端口之间彼此串联电连接,
其中,所述多个分流声波谐振器中的每个包括:谐振部,包括在第一方向上堆叠的第一电极、压电层和第二电极,
所述多个分流声波谐振器中的每个的谐振部的所述第一电极、所述压电层和所述第二电极彼此叠置在叠置区域中,
所述多个分流声波谐振器中的每个的所述叠置区域的纵横比等于所述叠置区域在所述叠置区域的最长边的延伸方向上的最长长度与所述叠置区域在垂直于所述延伸方向的方向上的最长长度之间的比率,并且
所述多个分流声波谐振器的纵横比包括不同的纵横比。
2.根据权利要求1所述的体声波谐振器滤波器,其中,所述多个分流声波谐振器的所述不同纵横比之间的差异使所述多个分流声波谐振器之间的反谐振频率差异减小。
3.根据权利要求1所述的体声波谐振器滤波器,其中,所述多个分流声波谐振器之间的反谐振频率差异小于所述多个分流声波谐振器之间的谐振频率差异。
4.根据权利要求1所述的体声波谐振器滤波器,其中,所述多个分流声波谐振器通过相应的第一电极或相应的第二电极彼此连接,并且
所述多个分流声波谐振器之间的纵横比差异随着所述多个分流声波谐振器之间的连接长度增大而增大。
5.根据权利要求1所述的体声波谐振器滤波器,其中,所述多个分流声波谐振器中的最靠近所述第一接地端口电连接的分流声波谐振器的纵横比低于所述多个分流声波谐振器中的更远离所述第一接地端口电连接的分流声波谐振器的纵横比。
6.根据权利要求5所述的体声波谐振器滤波器,其中,所述更远离所述第一接地端口电连接的分流声波谐振器的纵横比在2.2至2.6的范围。
7.根据权利要求1所述的体声波谐振器滤波器,其中,所述多个分流声波谐振器中的每个的纵横比大于1.3且小于等于6.6。
8.根据权利要求7所述的体声波谐振器滤波器,其中,所述多个分流声波谐振器中的每个的纵横比大于1.3且小于3.8。
9.根据权利要求1所述的体声波谐振器滤波器,其中,所述至少一个串联声波谐振器中的每个包括:谐振部,包括在所述第一方向上堆叠的第一电极、压电层和第二电极,所述至少一个串联声波谐振器中的每个的谐振部的第一电极、压电层和第二电极彼此叠置在叠置区域中,
所述至少一个串联声波谐振器中的每个的叠置区域的纵横比等于叠置区域在叠置区域的最长边的延伸方向上的最长长度与叠置区域在垂直于所述延伸方向的方向上的最长长度之间的比率,并且
所述多个分流声波谐振器中的至少一个分流声波谐振器的叠置区域的形状的对称性高于所述至少一个串联声波谐振器中的至少一个串联声波谐振器的叠置区域的形状的对称性。
10.根据权利要求9所述的体声波谐振器滤波器,其中,所述多个分流声波谐振器中的所述至少一个分流声波谐振器的纵横比大于等于4.8且小于等于6.6。
11.根据权利要求1所述的体声波谐振器滤波器,其中,所述多个分流声波谐振器的叠置区域的形状的对称性包括不同的对称性,并且
所述多个分流声波谐振器中的具有较高对称性的分流声波谐振器的纵横比高于所述多个分流声波谐振器中的具有较低对称性的分流声波谐振器的纵横比。
12.根据权利要求11所述的体声波谐振器滤波器,其中,所述具有较高对称性的分流声波谐振器的纵横比大于等于4.8且小于等于6.6,并且
所述具有较低对称性的分流声波谐振器的纵横比大于1.3且小于3.8。
13.根据权利要求1所述的体声波谐振器滤波器,其中,所述多个分流声波谐振器包括彼此串联电连接的第一分流声波谐振器、第二分流声波谐振器和第三分流声波谐振器,
所述第一分流声波谐振器和所述第二分流声波谐振器通过相应的第一电极或相应的第二电极彼此连接,
所述第二分流声波谐振器和所述第三分流声波谐振器通过相应的第一电极或相应的第二电极彼此连接,并且
所述第一分流声波谐振器与所述第二分流声波谐振器之间的纵横比差异不同于所述第二分流声波谐振器与所述第三分流声波谐振器之间的纵横比差异。
14.根据权利要求1所述的体声波谐振器滤波器,其中,所述多个分流声波谐振器包括在所述串联部的所述第一节点与所述第一接地端口之间彼此串联电连接的第一分流声波谐振器和第二分流声波谐振器,
所述多个分流声波谐振器还包括在所述串联部的所述第一节点与所述第一接地端口之间彼此串联电连接的第三分流声波谐振器和第四分流声波谐振器,
所述第三分流声波谐振器和所述第四分流声波谐振器中的每个包括:谐振部,包括在所述第一方向上堆叠的第一电极、压电层和第二电极所述第三分流声波谐振器和所述第四分流声波谐振器中的每个的谐振部的第一电极、压电层和第二电极彼此叠置在叠置区域中,
所述第三分流声波谐振器和所述第四分流声波谐振器中的每个的叠置区域的纵横比等于叠置区域在叠置区域的最长边的延伸方向上的最长长度与叠置区域在垂直于所述延伸方向的方向上的最长长度之间的比率,并且
彼此串联电连接的所述第一分流声波谐振器和所述第二分流声波谐振器与彼此串联电连接的所述第三分流声波谐振器和所述第四分流声波谐振器并联电连接。
15.根据权利要求14所述的体声波谐振器滤波器,其中,所述第一分流声波谐振器和所述第三分流声波谐振器中的一个分流声波谐振器通过所述一个分流声波谐振器的第一电极电连接到所述第一接地端口,并且所述第一分流声波谐振器和所述第三分流声波谐振器中的另一分流声波谐振器通过所述另一分流声波谐振器的第二电极电连接到所述第一接地端口。
16.根据权利要求15所述的体声波谐振器滤波器,其中,所述第三分流声波谐振器和所述第四分流声波谐振器的纵横比彼此不同,并且
所述第一分流声波谐振器与所述第二分流声波谐振器之间的纵横比差异不同于所述第三分流声波谐振器与所述第四分流声波谐振器之间的纵横比差异。
17.根据权利要求14所述的体声波谐振器滤波器,所述体声波谐振器滤波器还包括在所述串联部的第二节点与第二接地端口之间彼此串联电连接的第五分流声波谐振器和第六分流声波谐振器,
所述第五分流声波谐振器和所述第六分流声波谐振器中的每个包括:谐振部,包括在所述第一方向上堆叠的第一电极、压电层和第二电极,所述第五分流声波谐振器和所述第六分流声波谐振器中的每个的谐振部的第一电极、压电层和第二电极彼此叠置在叠置区域中,
所述第五分流声波谐振器和所述第六分流声波谐振器中的每个的叠置区域的纵横比等于叠置区域在叠置区域的最长边的延伸方向上的最长长度与叠置区域在垂直于所述延伸方向的方向上的最长长度之间的比率,
所述至少一个串联声波谐振器包括电连接在所述第一节点与所述第二节点之间的串联声波谐振器,
与所述第二分流声波谐振器和所述第四分流声波谐振器相比,所述第一分流声波谐振器和所述第三分流声波谐振器更靠近所述第一接地端口电连接,
与所述第六分流声波谐振器相比,所述第五分流声波谐振器更靠近所述第二接地端口电连接,
所述第一分流声波谐振器和所述第三分流声波谐振器中的每个的叠置区域的尺寸不同于所述第五分流声波谐振器的叠置区域的尺寸,并且
所述第二分流声波谐振器和所述第四分流声波谐振器中的每个的叠置区域的尺寸不同于所述第六分流声波谐振器的叠置区域的尺寸。
18.一种体声波谐振器滤波器,包括:
串联部,包括串联电连接在第一射频端口和第二射频端口之间的至少一个串联声波谐振器;以及
分流部,包括电连接在所述串联部与地之间的多个分流声波谐振器,
其中,所述多个分流声波谐振器中的每个包括:谐振部,包括在第一方向上堆叠的第一电极、压电层和第二电极,
所述多个分流声波谐振器中的每个的谐振部的所述第一电极、所述压电层和所述第二电极彼此叠置在叠置区域中,
所述多个分流声波谐振器中的每个的所述叠置区域的纵横比等于所述叠置区域在所述叠置区域的最长边的延伸方向上的最长长度与所述叠置区域在垂直于所述延伸方向的方向上的最长长度之间的比率,
所述多个分流声波谐振器的第一部分通过第一电极电连接到地,并且所述多个分流声波谐振器的第二部分通过第二电极电连接到地,并且
所述多个分流声波谐振器的通过第一电极电连接到地的所述第一部分的纵横比不同于所述多个分流声波谐振器的通过第二电极电连接到地的所述第二部分的纵横比。
19.根据权利要求18所述的体声波谐振器滤波器,其中,所述多个分流声波谐振器的通过第一电极电连接到地的所述第一部分的纵横比与所述多个分流声波谐振器的通过第二电极电连接到地的所述第二部分的纵横比之间的差异使所述多个分流声波谐振器之间的反谐振频率差异减小。
20.根据权利要求18所述的体声波谐振器滤波器,其中,所述多个分流声波谐振器的通过第一电极电连接到地的所述第一部分与所述多个分流声波谐振器的通过第二电极电连接到地的所述第二部分之间的反谐振频率差异小于所述多个分流声波谐振器的通过第一电极电连接到地的所述第一部分与所述多个分流声波谐振器的通过第二电极电连接到地的所述第二部分之间的谐振频率差异。
21.根据权利要求18所述的体声波谐振器滤波器,其中,所述至少一个串联声波谐振器的谐振频率高于所述多个分流声波谐振器中的每个的谐振频率,并且
所述多个分流声波谐振器的通过第一电极电连接到地的所述第一部分与所述多个分流声波谐振器的通过第二电极电连接到地的所述第二部分之间的谐振频率差异小于所述多个分流声波谐振器的谐振频率中的最高谐振频率与所述至少一个串联声波谐振器的谐振频率之间的谐振频率差异。
22.根据权利要求18所述的体声波谐振器滤波器,其中,所述多个分流声波谐振器的通过第一电极电连接到地的所述第一部分以及所述多个分流声波谐振器的通过第二电极电连接到地的所述第二部分电连接在所述串联部的第一节点和接地端口之间。
23.一种体声波谐振器封装件,包括:
基板;
盖,面对所述基板;
多个声波谐振器,所述多个声波谐振器中的每个包括形成谐振部的第一电极、压电层和第二电极,所述第一电极、所述压电层和第二电极在从所述基板朝向所述盖延伸的第一方向上堆叠,所述第一电极、所述压电层和所述第二电极叠置在叠置区域中并且设置在所述基板和所述盖之间;
金属层,将所述多个声波谐振器彼此连接;以及
接合构件,在垂直于所述第一方向的周向方向上围绕所述多个声波谐振器并且将所述盖接合到所述基板,
其中,所述多个声波谐振器中的每个的所述叠置区域的纵横比等于所述叠置区域在所述叠置区域的最长边的延伸方向上的最长长度与所述叠置区域在垂直于所述延伸方向的方向上的最长长度之间的比率,并且
所述多个声波谐振器中更靠近所述接合构件设置的声波谐振器的纵横比低于所述多个声波谐振器中更远离所述接合构件设置的其他声波谐振器的纵横比。
24.根据权利要求23所述的体声波谐振器封装件,其中,所述多个声波谐振器中的两个声波谐振器之间的纵横比差异随着将所述两个声波谐振器彼此连接的所述金属层的连接长度增大而增大。
25.根据权利要求23所述的体声波谐振器封装件,其中,所述多个声波谐振器中的两个声波谐振器之间的纵横比差异随着将所述两个声波谐振器彼此连接的所述金属层与所述接合构件之间的间隔距离减小而增大。
26.根据权利要求23所述的体声波谐振器封装件,其中,所述多个声波谐振器包括第一声波谐振器、第二声波谐振器、第三声波谐振器和第四声波谐振器,
所述第一声波谐振器和所述第二声波谐振器通过所述金属层的第一部分彼此连接,
所述第三声波谐振器和所述第四声波谐振器通过所述金属层的第二部分彼此连接,
所述金属层的将所述第一声波谐振器和所述第二声波谐振器彼此连接的所述第一部分的连接长度长于所述金属层的将所述第三声波谐振器和所述第四声波谐振器彼此连接的所述第二部分的连接长度,并且
所述第一声波谐振器与所述第二声波谐振器之间的纵横比差异大于所述第三声波谐振器与所述第四声波谐振器之间的纵横比差异。
27.根据权利要求23所述的体声波谐振器封装件,其中,所述多个声波谐振器包括第一声波谐振器、第二声波谐振器、第三声波谐振器和第四声波谐振器,
所述第一声波谐振器和所述第二声波谐振器通过所述金属层的第一部分彼此连接,
所述第三声波谐振器和所述第四声波谐振器通过所述金属层的第二部分彼此连接,
所述金属层的将所述第一声波谐振器和所述第二声波谐振器彼此连接的所述第一部分与所述接合构件之间的间隔距离短于所述金属层的将所述第三声波谐振器和所述第四声波谐振器彼此连接的所述第二部分与所述接合构件之间的间隔距离,并且
所述第一声波谐振器与所述第二声波谐振器之间的纵横比差异大于所述第三声波谐振器与所述第四声波谐振器之间的纵横比差异。
28.根据权利要求23所述的体声波谐振器封装件,其中,所述多个声波谐振器包括第一声波谐振器、第二声波谐振器、第三声波谐振器和第四声波谐振器,
所述第一声波谐振器和所述第二声波谐振器通过所述金属层的第一部分彼此连接,
所述第三声波谐振器和所述第四声波谐振器通过所述金属层的第二部分彼此连接,
所述金属层的将所述第一声波谐振器和所述第二声波谐振器彼此连接的所述第一部分与所述金属层的将所述第三声波谐振器和所述第四声波谐振器彼此连接的所述第二部分相对于所述基板设置在不同的高度处,并且
所述第一声波谐振器和所述第二声波谐振器的纵横比彼此不同。
29.根据权利要求23所述的体声波谐振器封装件,其中,所述多个声波谐振器包括彼此串联电连接的第一声波谐振器、第二声波谐振器和第三声波谐振器,
在所述第一声波谐振器、所述第二声波谐振器和所述第三声波谐振器中,所述第一声波谐振器最靠近所述接合构件,并且
所述第一声波谐振器与所述第二声波谐振器之间的纵横比差异大于所述第二声波谐振器与所述第三声波谐振器之间的纵横比差异。
30.根据权利要求23所述的体声波谐振器封装件,所述体声波谐振器封装件还包括第一射频端口和第二射频端口,所述多个声波谐振器通过所述金属层电连接到所述第一射频端口和所述第二射频端口,
其中,所述第一射频端口设置在所述基板的第一侧附近,
所述第二射频端口设置在所述基板的第二侧附近,并且
所述多个声波谐振器中的更靠近所述基板的第三侧设置的声波谐振器的纵横比低于所述多个声波谐振器中的更远离所述基板的所述第三侧设置的其他声波谐振器的纵横比。
31.根据权利要求23所述的体声波谐振器封装件,所述体声波谐振器封装件还包括接地端口,所述多个声波谐振器通过所述金属层电连接到所述接地端口,
其中,所述多个声波谐振器中的更靠近所述接地端口电连接的声波谐振器的纵横比低于所述多个声波谐振器中的更远离所述接地端口电连接的其他声波谐振器的纵横比。
32.根据权利要求23所述的体声波谐振器封装件,其中,所述接合构件包括导电环。
33.根据权利要求32所述的体声波谐振器封装件,所述体声波谐振器封装件还包括屏蔽层,所述屏蔽层设置在所述盖的面向所述多个声波谐振器的表面上并且电连接到所述接合构件。
34.一种体声波谐振器滤波器,包括:
串联部,包括串联电连接在第一射频端口和第二射频端口之间的至少一个串联声波谐振器;以及
多个分流声波谐振器,在所述串联部的节点与接地端口之间彼此电连接,
其中,所述多个分流声波谐振器中的每个包括:谐振部,包括在第一方向上堆叠的第一电极、压电层和第二电极,
所述多个分流声波谐振器中的每个的谐振部的所述第一电极、所述压电层和所述第二电极彼此叠置在叠置区域中,
所述多个分流声波谐振器中的每个的所述叠置区域的纵横比等于所述叠置区域在所述叠置区域的最长边的延伸方向上的最长长度与所述叠置区域在垂直于所述延伸方向的方向上的最长长度之间的比率,
所述体声波谐振器滤波器还包括:
第一金属层,电连接到所述多个分流声波谐振器的第一电极;以及
第二金属层,电连接到所述多个分流声波谐振器的第二电极,
所述多个分流声波谐振器包括以反串联连接方式彼此电连接的第一分流声波谐振器和第二分流声波谐振器,其中,所述第二金属层将所述第一分流声波谐振器的第二电极电连接到所述接地端口,并且所述第一金属层将所述第二分流声波谐振器的第一电极电连接到所述第一分流声波谐振器的第一电极,并且
所述第二分流声波谐振器的纵横比不同于所述第一分流声波谐振器的纵横比。
35.根据权利要求34所述的体声波谐振器滤波器,其中,所述第一分流声波谐振器和所述第二分流声波谐振器的纵横比之间的差异抵消所述第一分流声波谐振器和所述第二分流声波谐振器的寄生阻抗之间的差异。
36.根据权利要求35所述的体声波谐振器滤波器,其中,所述第二分流声波谐振器的纵横比高于所述第一分流声波谐振器的纵横比。
37.根据权利要求35所述的体声波谐振器滤波器,其中,所述第二分流声波谐振器的纵横比低于所述第一分流声波谐振器的纵横比。
38.根据权利要求34所述的体声波谐振器滤波器,其中,所述多个分流声波谐振器还包括以反串联连接方式彼此电连接的第三分流声波谐振器和第四分流声波谐振器,其中,所述第一金属层的一部分将所述第三分流声波谐振器的第一电极电连接到所述第二金属层,并且所述第二金属层将所述第一金属层的所述一部分电连接到所述接地端口,并且所述第二金属层将所述第四分流声波谐振器的第二电极电连接到所述第三分流声波谐振器的第二电极,并且
所述第四分流声波谐振器的纵横比等于或基本等于所述第三分流声波谐振器的纵横比。
39.一种体声波谐振器滤波器,包括:
串联部,包括串联电连接在第一射频端口和第二射频端口之间的至少一个串联声波谐振器;以及
多个分流声波谐振器,在所述串联部的第一节点与第一接地端口之间彼此并联电连接,
其中,所述多个分流声波谐振器中的每个包括:谐振部,包括在第一方向上堆叠的第一电极、压电层和第二电极,
所述多个分流声波谐振器中的每个的谐振部的所述第一电极、所述压电层和所述第二电极彼此叠置在叠置区域中,
所述多个分流声波谐振器中的每个的所述叠置区域的纵横比等于所述叠置区域在所述叠置区域的最长边的延伸方向上的最长长度与所述叠置区域在垂直于所述延伸方向的方向上的最长长度之间的比率,
所述体声波谐振器滤波器还包括:
第一金属层,电连接到所述多个分流声波谐振器的第一电极;以及
第二金属层,电连接到所述多个分流声波谐振器的第二电极,
所述多个分流声波谐振器包括以反并联连接方式彼此电连接的第一分流声波谐振器和第二分流声波谐振器,其中,所述第二金属层将所述第一分流声波谐振器的第二电极电连接到所述第一接地端口,并且所述第一金属层的一部分将所述第二分流声波谐振器的第一电极电连接到所述第二金属层,并且所述第二金属层将所述第一金属层的所述一部分电连接到所述第一接地端口,并且
所述第二分流声波谐振器的纵横比不同于所述第一分流声波谐振器的纵横比。
40.根据权利要求39所述的体声波谐振器滤波器,其中,所述第一分流声波谐振器和所述第二分流声波谐振器的纵横比之间的差异抵消所述第一分流声波谐振器和所述第二分流声波谐振器的寄生阻抗之间的差异。
41.根据权利要求40所述的体声波谐振器滤波器,其中,所述第二分流声波谐振器的纵横比高于所述第一分流声波谐振器的纵横比。
42.根据权利要求40所述的体声波谐振器滤波器,所述体声波谐振器滤波器还包括在所述串联部的第二节点与第二接地端口之间彼此串联电连接的第二多个分流声波谐振器,
其中,所述第二多个分流声波谐振器中的每个包括:谐振部,包括在所述第一方向上堆叠的第一电极、压电层和第二电极,
所述第二多个分流声波谐振器中的每个的谐振部的第一电极、压电层和第二电极彼此叠置在叠置区域中,
所述第二多个分流声波谐振器中的每个的叠置区域的纵横比等于叠置区域在叠置区域的最长边的延伸方向上的最长长度与叠置区域在垂直于所述延伸方向的方向上的最长长度之间的比率,
所述至少一个串联声波谐振器包括电连接在所述第一节点与所述第二节点之间的串联声波谐振器,
所述第一金属层还电连接到所述第二多个分流声波谐振器的第一电极,
所述第二金属层还电连接到所述第二多个分流声波谐振器的第二电极,
所述第二多个分流声波谐振器还包括以反串联连接方式彼此电连接的第三分流声波谐振器和第四分流声波谐振器,其中,所述第二金属层将所述第三分流声波谐振器的第二电极电连接到所述第二接地端口,并且所述第一金属层将所述第四分流声波谐振器的第一电极电连接到所述第三分流声波谐振器的第一电极,并且
所述第四分流声波谐振器的纵横比等于或基本等于所述第三分流声波谐振器的纵横比。
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