CN218827147U 有效 一种耦合板HEMT器件
1.一种耦合板HEMT器件,其特征在于,包括:
基底层,包括AlGaN/GaN异质结;
源极,设置在所述基底层的一侧;
漏极,设置在所述基底层的设置有所述源极的一侧;
耦合板,包括栅极、第一钝化层、第二钝化层和感应金属板,所述栅极设置在所述基底层设置有所述源极的一侧,所述栅极为T型栅,所述第一钝化层设置在所述基底层的设置有所述源极的一侧,所述第二钝化层设置在所述第一钝化层远离所述基底层的一侧,所述感应金属板设置在所述第一钝化层和所述第二钝化层之间,所述感应金属板在垂直空间上与所述栅极的栅帽部分重叠,所述感应金属板位于所述源极和所述漏极之间靠近所述漏极的一侧,所述栅极位于所述感应金属板远离所述漏极的一侧,所述感应金属板不接触所述栅极。
2.根据权利要求1所述的一种耦合板HEMT器件,其特征在于,所述基底层包括:
衬底;
缓冲层,设置在所述衬底的一侧;
沟道层,设置在所述缓冲层远离所述衬底的一侧;
势垒层,设置在所述沟道层远离所述缓冲层的一侧,所述势垒层远离所述沟道层的一侧设置有所述源极。
3.根据权利要求2所述的一种耦合板HEMT器件,其特征在于,所述衬底包括金刚石衬底、蓝宝石衬底、GaN衬底、硅衬底和碳化硅衬底中的任意一种。
4.根据权利要求2所述的一种耦合板HEMT器件,其特征在于,所述沟道层采用GaN制备而成。
5.根据权利要求1所述的一种耦合板HEMT器件,其特征在于,所述第一钝化层采用Al2O3和SiO2中的任意一种制备而成。
6.根据权利要求1所述的一种耦合板HEMT器件,其特征在于,所述第二钝化层采用TiO2、La2O3、HfO2和Y2O3中的任意一种制备而成。
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