JP2023052669A
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用于多站系统等离子调平的模块化配方控制校准 (mrcc) 设备
提供了一种模块化配方控制校准 (MRCC) 设备,用于跨半导体处理系统中的多个站调平等离子体。
包括一个用于调整 RF 功率的电路。 该电路包括低频至中频 (LF/HF) 调节电路,包括与低频 (LF)/中频 (MF) 电感器串联耦合的可变 LF/MF 电容器。 LF/MF调整电路耦合在地和配置为接收RF输入的公共节点之间。 该电路包括在地和公共节点之间与LF/MF调节电路并联耦合的高频(HF)调节电路。 高频调节电路包括与高频电感器串联耦合的可变高频电容器。 在调谐可变LF/MF电容或可变HF电容时,LF/MF调节电路的LF/MF电感与HF调节电路的HF电感之间会出现交叉并联隔离。
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| 专利时间轴 | |
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| 专利类型/受理局 | APPLICATION( JP) |
| [标]当前申请（专利权）人 | ラム リサーチ コーポレーション,LAM RESEARCH CORPORATION |
| 当前申请（专利权）人 |
ラム リサーチ コーポレーション,LAM RESEARCH CORPORATION アメリカ合衆国,カリフォルニア 94538,フレモント,クッシング パークウェイ 4650, |
| [标]原始申请（专利权）人 | ラム リサーチ コーポレーション,LAM RESEARCH CORPORATION |
| 原始申请（专利权）人 | ラム リサーチ コーポレーション,LAM RESEARCH CORPORATION アメリカ合衆国,カリフォルニア 94538,フレモント,クッシング パークウェイ 4650, |
| IPC分类号 |
IPC(8):
H05H1/46H01L21/31
+2
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| 技术主题分类 | |
| 应用领域分类 | |
| 发明人 |
ジュコ·エラー·ワイ. (アメリカ合衆国 カリフォルニア州94538 フレモント) リーサー·カール·フレデリック (クッシング·パークウェイ) フレンチ·デヴィッド (4650) カプール·サニル (アメリカ合衆国 カリフォルニア州94538 フレモント) ビンガム·アーロン (クッシング·パークウェイ) メッツ·デヴィッド·アラン (4650) ヘルツィヒ·ブレット (アメリカ合衆国 カリフォルニア州94538 フレモント) ヒエスター·ジェイコブ·エル. (クッシング·パークウェイ) ナイト·ブライアン (4650) |
