CN113687506B 有效 一种基于微流控的可调光束分束器
1.一种基于微流控的可调光束分束器,其特征在于,所述可调光束分束器包括:激光器、流体控制系统、Y分支波导和带CCD的倒置荧光显微镜;
所述Y分支波导为PDMS在硅片上倒模制成的微流控芯片,且关于水平线对称,包括:芯层,位于芯层上方的包层A,位于芯层下方的包层B,位于波导末端的包层C,所述Y分支波导的分支点前设置一个朝向通道入口方向的楔形块,所述激光器输入光源通过光纤耦合到微流控芯片中,通过所述流体控制系统控制流体的流量大小,改变芯层流体的位置和宽度以实现动态调节分光比。
2.根据权利要求1所述的基于微流控的可调光束分束器,其特征在于,所述Y分支波导的工作区域长为1900μm,宽为430μm,高为125μm。
3.根据权利要求1所述的基于微流控的可调光束分束器,其特征在于,所述包层A、包层B、包层C通入的是乙二醇,所述芯层通入的是肉桂醛。
4.根据权利要求1所述的基于微流控的可调光束分束器,其特征在于,所述楔形块的尖端的角度为15°,长为500μm,宽为130μm。
5.根据权利要求1所述的基于微流控的可调光束分束器,其特征在于,所述Y分支波导包括一个主通道和两个分支通道,每个所述分支通道与所述主通道的夹角为27°。
6.根据权利要求1所述的基于微流控的可调光束分束器,其特征在于,所述流体控制系统由双通道注射泵实现。
7.根据权利要求1所述的基于微流控的可调光束分束器,其特征在于,所述芯层、包层A、包层B、包层C的截面均为矩形。
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