CN115948123A 审中 一种单晶硅碱抛光添加剂及碱抛光方法
1.一种单晶硅碱抛光添加剂,其特征在于,按照重量百分比,由以下组分组成:
余量为去离子水。
2.根据权利要求1所述的单晶硅碱抛光添加剂,其特征在于,所述反应促进剂为香兰素、苦味酸、过氧乙酸、苯胺中一种或两种以上的组合。
3.根据权利要求1所述的单晶硅碱抛光添加剂,其特征在于,所述缓蚀阻垢剂为2-羟基膦酸基乙酸、双1,6-亚己基三胺五甲叉膦酸、苯骈三氮唑、膦酰基羧酸共聚物、双1,6-亚己基三胺五甲叉膦酸中的一种或者两种以上的组合。
4.根据权利要求1所述的单晶硅碱抛光添加剂,其特征在于,所述光亮剂为烟酸、苯甲酸钠、壬基酚聚氧乙烯醚、苄叉丙酮、聚对苯乙烯磺酸钠中的一种或两种以上的组合。
5.根据权利要求1所述的单晶硅碱抛光添加剂,其特征在于,所述润湿剂为丙二醇、吐温-80、聚乙二醇200-400、二甲基亚砜、聚氧乙烯脂肪醇醚等物质中的一种或者两种以上的组合。
6.根据权利要求1所述的单晶硅碱抛光添加剂,其特征在于,所述脱泡剂为百合提取物、灰树花提取物、石斛提取物、白桦茸提取物、金针菇提取物中的一种或两种以上组合。
7.一种单晶硅碱抛光方法,根据权利要求1-6任一所述的单晶硅碱抛光添加剂,其特征在于,包括以下步骤:
步骤S1、配制添加剂
将质量百分含量为2%~4%的反应促进剂、1%~2%的缓蚀阻垢剂、0.1%~0.5%的光亮剂、0.01%~0.03%的润湿剂、0.5%~1%脱泡剂加入到余量的水中,混合均匀配成添加剂;
步骤S2、配制抛光液
将步骤S1制成的添加剂加到碱液中,混合均匀配成抛光液;添加剂与碱液的质量比为10~15:100;碱液为NaOH溶液或KOH溶液,且质量浓度为45%;
步骤S3、抛光处理
利用步骤S2制得的抛光液对硅片背面进行抛光处理,抛光处理的温度控制在60~65℃,时间控制在130s~240s。
8.根据权利要求7所述的单晶硅碱抛光方法,其特征在于,
所述促进剂选自香兰素、苦味酸、过氧乙酸、苯胺中的一种或多种;
所述缓蚀阻垢剂选自2-羟基膦酸基乙酸、双1,6-亚己基三胺五甲叉膦酸、苯骈三氮唑、膦酰基羧酸共聚物、双1,6-亚己基三胺五甲叉膦酸中的一种或多种;
所述光亮剂选自烟酸、苯甲酸钠、壬基酚聚氧乙烯醚、苄叉丙酮、聚对苯乙烯磺酸钠中的一种或多种;
所述润湿剂选自丙二醇、吐温-80、聚乙二醇200-400、二甲基亚砜、聚氧乙烯脂肪醇醚中的一种或多种;
所述脱泡剂选自百合提取物、灰树花提取物、石斛提取物、白桦茸提取物、金针菇提取物中的一种或多种。
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