一种基于圆弧型悬臂微桥工艺的静电调谐滤波器及其制备方法，电调谐滤波器由下而上依次的硅衬底层、底部“回”字形金电极层、空气悬空层、顶部“S”形硅桥面层和顶部金“插指”电极层构成；硅顶部桥面层的桥面悬臂拐角和桥腿固定连接处为“圆弧”结构，顶部金“插指”电极层的四个内边各有一根“插指”电极，该“插指”电极的固定端的圆弧半径与硅顶部桥面层的拐角的桥面圆弧一致。本发明的圆弧形微桥结构有效解决传统“直臂”型结构中90°拐角处和悬臂固定点存在应力过大且集中导致结构翘曲、倾斜、坍塌等问题，保证整体桥面一致性，且桥面总体应力均匀。该发明可用于红外探测器表面集成滤波片，获得紧凑片上集成的动态滤波调谐的探测功能。