CN115946252A 审中 双排半片晶棒切割方法及晶片
本发明提供一种双排半片晶棒切割方法及晶片。双排半片晶棒切割方法包括:S1、准备两根半片晶棒、两块晶棒安装板和一块晶托板,将两块所述晶棒安装板间隔设置在所述晶托板上,所述晶棒安装板上用于安装晶棒的晶棒安装斜面,分别将两根所述半片晶棒固定在两块所述晶棒安装板的安装斜面上;S2、将所述晶托板移动至线切割装置上方,并使所述半片晶棒倒置;S3、在所述线切割装置的切割辊上布置好切割线,启动线切割装置,驱动所述晶棒朝向所述切割线方向进给并开始切割。切割线入刀时,先切割半片晶棒的部分,在半片晶棒向下进给的过程中逐渐增大与半片晶棒的切割范围,能够减少入刀异常情况发生,降低入刀时造成的整体厚度偏差。
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专利时间轴
  • 26 Dec 2022 申请日
    CN/202211686900.7
    优先权
  • 26 Dec 2022 申请日
    CN/115946252
    当前专利 申请号
  • 11 Apr 2023 公开(公告)日期
    CN115946252A
    申请号
专利类型/受理局 APPLICATION( CN)
[标]当前申请(专利权)人 三一硅能(株洲)有限公司
当前申请(专利权)人 三一硅能(株洲)有限公司

412000 湖南省株洲市石峰区铜塘湾街道铜霞路255号隆信国际1号楼518-50室

[标]原始申请(专利权)人 三一硅能(株洲)有限公司
原始申请(专利权)人 三一硅能(株洲)有限公司

412000 湖南省株洲市石峰区铜塘湾街道铜霞路255号隆信国际1号楼518-50室

IPC分类号
IPC(8): B28D5/04B28D5/00 +2
技术主题分类
应用领域分类
发明人

请求不公布姓名

代理机构

北京路浩知识产权代理有限公司 (葛美华)

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