CN115940879A 审中 一种滤波器以及滤波器的制备方法
1.一种滤波器,其特征在于,包括:
衬底,所述衬底的表面设置有至少一个谐振器,所述谐振器包括底电极、压电层和顶电极的叠层;
至少两个测试电极,至少一个所述测试电极与所述底电极在所述衬底的正投影至少部分交叠的同时,该测试电极还与所述顶电极在所述衬底的正投影至少部分交叠,所述底电极和所述顶电极通过不同的测试电极获取电信号。
2.根据权利要求1所述的滤波器,其特征在于,所述测试电极包括连接支撑段和测试电极帽,所述连接支撑段的第一端与所述底电极或者所述顶电极连接,所述连接支撑段的第二端高于所述顶电极设置,且所述连接支撑段用于支撑所述测试连接帽;
所述测试连接帽朝向所述谐振器的有效区域延伸。
3.根据权利要求2所述的滤波器,其特征在于,所述测试连接帽在所述衬底所在平面的横截面积大于所述连接支撑段在所述衬底所在平面的横截面积。
4.根据权利要求2所述的滤波器,其特征在于,所述测试电极包括第一测试电极和第二测试电极;
所述第一测试电极包括第一连接支撑段和第一测试电极帽,所述第一连接支撑段的第一端与所述底电极连接;
所述第二测试电极包括第二连接支撑段和第二测试电极帽,所述第二连接支撑段的第一端与所述顶电极连接。
5.根据权利要求4所述的滤波器,其特征在于,所述第一测试电极设置于底电极之上,所述第二测试电极设置于所述顶电极之上;所述第一连接支撑段穿过位于所述压电层的通孔与所述底电极连接。
6.根据权利要求4所述的滤波器,其特征在于,所述第一测试电极和所述第二测试电极设置于所述底电极之上,或者,所述第一测试电极和所述第二测试电极设置于所述顶电极之上。
7.根据权利要求6所述的滤波器,其特征在于,所述底电极包括第一部分底电极、第二部分底电极以及第三部分底电极,所述第一部分底电极和第二部分底电极绝缘设置,所述第三部分底电极和所述第二部分底电极绝缘设置,所述第一部分底电极和所述第三部分底电极连接;
所述第一连接支撑段穿过位于所述压电层的通孔与所述第一部分底电极连接;
所述第二连接支撑段穿过位于所述压电层的通孔与所述第二部分底电极连接;
所述滤波器还包括第一导电连接部,所述第一导电连接部的第一端与所述第二部分底电极连接,所述第一导电连接部的第二端穿过位于所述压电层的通孔与所述顶电极连接。
8.根据权利要求6所述的滤波器,其特征在于,所述顶电极包括第一部分顶电极和第二部分顶电极,所述第一部分顶电极和第二部分顶电极绝缘设置;
所述第一连接支撑段与所述第一部分顶电极连接;
所述第二连接支撑段与所述第二部分顶电极连接;
所述滤波器还包括第二导电连接部,所述第二导电连接部的第一端与所述第一部分顶电极连接,所述第二导电连接部的第二端与所述底电极连接。
9.一种滤波器的制备方法,其特征在于,包括:
提供衬底;
在所述衬底的表面依次形成底电极、压电层和顶电极的叠层,以在所述衬底的表面形成至少一个谐振器;
形成至少两个测试电极,至少一个所述测试电极与所述底电极在所述衬底的正投影至少部分交叠的同时,还与所述顶电极在所述衬底的正投影至少部分交叠,所述底电极和所述顶电极通过不同的测试电极获取电信号。
10.根据权利要求9所述的滤波器的制备方法,其特征在于,所述测试电极包括连接支撑段和测试电极帽,形成至少两个测试电极包括:
在所述谐振器的表面形成光刻胶;
对所述光刻胶进行第一次光刻,曝光并显影出所述光刻胶的第一图形区域,所述第一图形区域为所述测试电极帽对应的区域;
对所述光刻胶进行第二次光刻,曝光并显影出所述光刻胶的第二图形区域,所述第二图形区域为所述连接支撑段对应的区域;
沉积测试电极所在的导电层;
剥离所述光刻胶,以形成所述测试电极。
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