CN110668391B
有效
一种具有应力释放功能的双端固支板式MEMS结构
本发明公开一种具有应力释放功能的双端固支板式MEMS结构，包括相互键合的衬底层与可动结构层，衬底层顶部中心设有空腔，衬底层顶部设有环形隔离槽，环形隔离槽位于空腔外周，环形隔离槽与空腔之间形成环形固定锚点；可动结构层包含可动结构外框，可动结构外框内设有双端固支板结构，可动结构外框与双端固支板结构之间形成环形应力释放槽，环形应力释放槽与环形隔离槽相对应；环形固定锚点对双端固支板结构形成支撑；双端固支板结构的四角与可动结构外框的四个内角之间分别对应设有应力释放连接梁；本发明在保证传感器谐振频率不降低的情况下极大地减小了传感器对热应力的敏感度。
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| 专利时间轴 | |
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| 专利类型/受理局 | PATENT( CN) |
| [标]当前申请（专利权）人 | 华东光电集成器件研究所 |
| 当前申请（专利权）人 |
华东光电集成器件研究所 233030 安徽省蚌埠市经济开发区汤和路2016号 |
| [标]原始申请（专利权）人 | 华东光电集成器件研究所 |
| 原始申请（专利权）人 | 华东光电集成器件研究所 233030 安徽省蚌埠市经济开发区汤和路2016号 |
| IPC分类号 |
IPC(8):
B81B7/00B81B7/02B81B3/00G01P15/12
+4
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| 技术主题分类 | |
| 应用领域分类 | |
| 发明人 |
何凯旋 喻磊 郭立建 姜楠 张胜兵 郭群英 |
| 代理机构 |
安徽省蚌埠博源专利商标事务所(普通合伙) (陈俊) |
