1.一种MEMS氢气传感器,其特征在于:包括上盖、底座和PCB板,所述PCB板上安装有两个MEMS氢传感器芯片,所述底座一侧对应两个MEMS氢传感器芯片开设有两个能够容纳MEMS氢传感器芯片的反应腔室,每个反应腔室顶部开设有一个透气孔,所述透气孔上设有防水透气膜;所述上盖可拆卸安装在所述底座上,所述上盖顶部开设有进气孔,所述进气孔分别与所述底座上的两个所述透气孔连通,形成两路进气通道。
2.根据权利要求1所述的MEMS氢气传感器,其特征在于:不同反应腔室的体积相同,但不同反应腔室的透气孔的内径不同。
3.根据权利要求1或2所述的MEMS氢气传感器,其特征在于:所述上盖的进气孔内安装有不锈钢丝网;所述上盖和所述底座之间还通过中空框体连接成过滤腔,所述过滤腔内部自上至下填充有过滤棉层I、颗粒过滤层和过滤棉层II。
4.根据权利要求1或2所述的MEMS氢气传感器,其特征在于:所述底座开设有反应腔室的一侧还设置有若干个定位柱,所述PCB板上对应所述定位柱设置有定位孔,所述PCB板与所述底座通过所述定位柱和所述定位孔装配连接。
5.根据权利要求1所述的MEMS氢气传感器,其特征在于:所述底座外部还设置有环形密封胶槽。
6.根据权利要求1所述的MEMS氢气传感器,其特征在于:所述上盖卡扣在所述底座上。