CN218830695U 有效 电极保护结构和单晶炉
1.一种电极保护结构,用于保护单晶炉中的电极,其特征在于,包括:
空心柱状本体,内部包括一容纳腔,以用于容纳电极;
盖体,盖设于所述空心柱状本体上,所述盖体上设置有与所述容纳腔连通的第一通孔;
导电连接件,包括相对设置的第一端和第二端,所述第一端设置有电极连接部,所述电极连接部能够插入所述第一通孔内以用于与容纳于所述空心柱状本体内的电极连接,所述第二端设置有加热器连接部,所述加热器连接部外露于所述第一通孔以用于与单晶炉的加热器连接;
所述空心柱状本体的外周面上分布有与所述容纳腔连通的多个第二通孔。
2.根据权利要求1所述的电极保护结构,其特征在于,沿着所述空心柱状本体的轴向方向,所述空心柱状本体包括设置所述第一通孔的顶部,所述第二通孔的轴向方向与所述空心柱状本体的轴向方向之间的夹角为钝角,且所述第二通孔包括位于所述空心柱状本体的外侧壁的第一开口端和位于所述空心柱状本体的内侧壁的第二开口端,所述第一开口端与所述顶部之间的距离大于所述第二开口端与所述顶部之间的距离。
3.根据权利要求2所述的电极保护结构,其特征在于,所述第一开口端在所述空心柱状本体的径向方向上的正投影为矩形。
4.根据权利要求3所述的电极保护结构,其特征在于,沿着所述空心柱状本体的轴向方向,所述第一开口端包括靠近所述顶部的第一侧边和与所述第一侧边相邻的第二侧边,所述第一侧边在所述空心柱状本体的径向方向上的正投影的长度大于所述第二侧边在所述空心柱状本体的径向方向上的正投影的长度。
5.根据权利要求1所述的电极保护结构,其特征在于,多个所述第二通孔间隔且均匀分布于所述空心柱状本体的外周面上。
6.根据权利要求1所述的电极保护结构,其特征在于,所述导电连接件包括主体部,所述主体部包括位于所述第一端的第一端面和位于所述第二端的第二端面,所述主体部在所述空心柱状本体的径向方向上的截面的形状与所述第一通孔的形状相符,所述电极连接部为凸设于所述第一端面的连接柱,所述加热器连接部为开设于所述第二端面的连接卡槽。
7.根据权利要求6所述的电极保护结构,其特征在于,所述第一端面上设置有围设于所述连接柱的外围的隔热垫片,和/或所述第二端面上设置有围设于所述连接卡槽的外围的隔热垫片。
8.根据权利要求1所述的电极保护结构,其特征在于,沿着所述空心柱状本体的轴向方向,所述空心柱状本体包括设置所述第一通孔的顶部,所述顶部的端面上设置有凹槽,所述盖体上设置有与所述凹槽配合的凸起。
9.根据权利要求8所述的电极保护结构,其特征在于,所述盖体包括与所述空心柱状本体连接的环形连接面,所述凹槽为围设于所述第一通孔的外围的环形凹槽,所述凸起为凸设于所述环形连接面上的环形凸起。
10.根据权利要求1所述的电极保护结构,其特征在于,所述盖体为锥台状结构,所述盖体靠近所述空心柱状本体的一端的面积大于远离所述空心柱状本体的一端的面积。
11.根据权利要求1所述的电极保护结构,其特征在于,所述盖体和所述空心柱状本体均采用立方氮化硼制成。
12.一种单晶炉,其特征在于,包括电极、加热器和权利要求1-11任一项所述的电极保护结构,所述电极保护结构包括空心柱状本体、盖体和导电连接件,所述电极容纳于所述空心柱状本体的所述容纳腔内,且所述电极通过所述导电连接件与所述加热器连接。
13.根据权利要求12所述的单晶炉,其特征在于,所述导电连接件包括主体部,所述主体部包括位于所述第一端的第一端面和位于所述第二端的第二端面,所述主体部在所述空心柱状本体的径向方向上的截面的形状与所述第一通孔的形状相符,所述电极连接部为凸设于所述第一端面的连接柱,所述加热器连接部为开设于所述第二端面的连接卡槽;
所述加热器包括呈筒状结构的加热器主体,以及与所述加热器主体一体成型的至少两个电极连接头,所述电极连接头上设置有与所述连接卡槽配合以供螺栓穿过的安装孔。
14.根据权利要求13所述的单晶炉,其特征在于,所述加热器主体沿其轴向方向包括相对的顶部开口端和底部开口端,所述加热器主体沿其周向方向交互分布有多个第一开槽和第二开槽,所述第一开槽的开口朝向所述顶部开口端,所述第二开槽的开口朝向所述底部开口端。
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