CN218830387U 有效 一种微机电挡片及图像传感器
1.一种微机电挡片,其特征在于,所述微机电挡片包括微机电结构图案;所述微机电结构图案包括:
支撑结构图案,所述支撑结构图案具有开口;
挡片结构图案,位于所述开口内;
致动结构图案,连接所述挡片结构图案与所述支撑结构图案,用于驱动所述挡片结构图案在所述开口内沿第一方向移动,所述第一方向为平行于所述挡片结构图案所在平面的一个方向。
2.根据权利要求1所述的微机电挡片,其特征在于,
所述致动结构图案包括:设置在所述挡片结构图案沿第二方向的相对两端的悬臂梁;所述悬臂梁连接所述挡片结构图案及所述支撑结构图案;
所述第二方向与所述第一方向垂直,且所述第二方向平行于所述挡片结构图案所在平面。
3.根据权利要求2所述的微机电挡片,其特征在于,所述挡片结构图案包括依次层叠的基底层和金属层。
4.根据权利要求2所述的微机电挡片,其特征在于,
所述支撑结构图案包括:两个锚点;
所述两个锚点分别位于所述挡片结构图案沿所述第二方向的相对两端,所述锚点与相应的所述悬臂梁连接;
所述两个锚点分别用于接收不同的电信号,以在所述挡片结构图案中形成电流,电流方向为所述第二方向。
5.根据权利要求2所述的微机电挡片,其特征在于,所述致动结构图案包括:设置在所述挡片结构图案沿所述第一方向的相对两端的挡片梳齿电极;
所述支撑结构图案包括:
设置在所述挡片结构图案沿所述第一方向的相对两端的锚点;两个所述锚点分别用于接收不同的电信号;
与所述锚点连接、且与相应的所述挡片梳齿电极相对设置的锚点梳齿电极;所述锚点梳齿电极与相应的所述挡片梳齿电极之间呈插指结构设置,构成梳齿电容。
6.根据权利要求2所述的微机电挡片,其特征在于,所述支撑结构图案包括:设置在所述挡片结构图案沿第一方向的相对两端的锚点对,所述锚点对包括两个锚点;
所述致动结构图案包括:设置在所述挡片结构图案沿第一方向的相对两端的压电致动梁,所述压电致动梁连接所述挡片结构图案和相应的所述锚点对,所述压电致动梁的材料包括压电材料;
其中,所述锚点对用于接收电信号,以使两个所述压电致动梁中的一者压缩,另一者伸长。
7.根据权利要求6所述的微机电挡片,其特征在于,每个所述锚点对包括第一锚点和第二锚点;
所述压电致动梁包括:
沿所述第二方向延伸的压电条,所述压电条包括相对的第一端和第二端;
连接所述压电条的第一端和所述挡片结构图案的中部的第一支撑条;
连接所述压电条的第二端和所述挡片结构图案的中部的第二支撑条;
连接所述压电条的上表面和所述第一锚点的第三支撑条;及,
连接所述压电条的下表面和所述第二锚点的第四支撑条;所述第一支撑条、所述第二支撑条、所述第三支撑条及所述第四支撑条的延伸方向,均与所述第二方向交叉。
8.根据权利要求1~7中任一项所述的微机电挡片,其特征在于,所述挡片结构图案包括光栅式挡片;
所述光栅式挡片具有沿所述第一方向依次排列、沿第二方向延伸的多个狭缝;
所述第二方向与所述第一方向垂直,且所述第二方向为平行于所述挡片结构图案所在平面的一个方向。
9.一种图像传感器,其特征在于,所述图像传感器包括:如权利要求1~8任一项所述的微机电挡片,以及层叠设置在所述微机电挡片一侧的红外芯片。
10.根据权利要求9所述的图像传感器,其特征在于,所述红外芯片包括:有效阵列器件,用于感测红外辐射信号;所述有效阵列器件与挡片结构图案正对设置;
所述挡片结构图案与所述红外芯片平行。
11.根据权利要求10所述的图像传感器,其特征在于,所述有效阵列器件包括:沿第二方向呈多行沿第一方向呈多列的多个感光器件;
在所述挡片结构图案包括光栅式挡片的情况下,所述光栅式挡片的一条狭缝与至少一列感光器件对应设置。
现在,一起体验智慧芽的产品和服务
自动注册,无需人工审核,即可立即开始查询专利
立即注册
澳门正版图库

AI助手