CN115942583A 审中 一种轴向磁场调控低温等离子体的材料表面处理装置
本发明属于等离子体应用领域,涉及一种轴向磁场调控低温等离子体的材料表面处理装置,包括外筒、高压尖电极、平板地电极、电磁线圈及磁芯;高压尖电极一端贯穿于左盖板并伸入在放电腔体中,另一端与高压电源连接;平板地电极设置在外筒内且与高压尖电极相对设置,平板地电极靠近高压尖电极一面上预制有用于放置待处理材料的放置台;在外筒外围横向设有电磁线圈,电磁线圈与磁控单元连接;在外筒内壁上设有磁芯;在左盖板上开有进气孔,在右盖板上开有出气孔。在高压尖电极和平板地电极之间可以获取大气压辉光放电等离子体的大面积弥散分布,分布空间的大小可以通过磁场强度大小来精确调节,实现大气压辉光放电弥散低温等离子体分布空间的扩展。
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专利时间轴
  • 19 Dec 2022 申请日
    CN/202211634427.8
    优先权
  • 19 Dec 2022 申请日
    CN/115942583
    当前专利 申请号
  • 07 Apr 2023 公开(公告)日期
    CN115942583A
    申请号
专利类型/受理局 APPLICATION( CN)
[标]当前申请(专利权)人 西安交通大学
当前申请(专利权)人 西安交通大学

710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号

[标]原始申请(专利权)人 西安交通大学
原始申请(专利权)人 西安交通大学

710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号

IPC分类号
IPC(8): H05H1/02H05H1/34H05H1/00 +3
技术主题分类
应用领域分类
发明人

王永生

靳文庸

彭明斌

丁卫东

代理机构

西安通大专利代理有限责任公司 (朱海临)

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