CN218835378U
有效
一种便于快速移动的清洗装置
本实用新型涉及晶圆清洗装置技术领域，尤其涉及一种便于快速移动的清洗装置。提出如下技术方案：包括箱体，所述箱体的内部设置有清洗槽体，所述清洗槽体的内部分为两个清洗区，两个清洗区的上端均转动连接有盖体，所述清洗槽体的一侧滑动连接有U形连接板，所述U形连接板的底端设置有水平传动机构，所述垂直传动机构包括固定连接在清洗框一侧的L形连接杆，所述清洗槽体的一侧开设有供L形连接杆滑动的倒U形通槽。本实用新型通过设置垂直传动机构与水平传动机构，在使用的时候可以在清洗槽内转换清洗区，使酸洗后的晶圆不与空气接触，不会在清洗的过程中对晶圆造成损坏，并且提高了清洗的效率。
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| 专利时间轴 | |
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| 专利类型/受理局 | UTILITY( CN) |
| [标]当前申请（专利权）人 | 江苏英思特半导体科技有限公司 |
| 当前申请（专利权）人 |
江苏英思特半导体科技有限公司 226500 江苏省南通市如皋市城南街道新源北路8号11号厂房（1-2层） |
| [标]原始申请（专利权）人 | 江苏英思特半导体科技有限公司 |
| 原始申请（专利权）人 | 江苏英思特半导体科技有限公司 226500 江苏省南通市如皋市城南街道新源北路8号11号厂房（1-2层） |
| IPC分类号 |
IPC(8):
B08B3/04B08B3/08B08B13/00
+3
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| 技术主题分类 | |
| 应用领域分类 | |
| 发明人 |
管选伟 凌星星 |
| 代理机构 |
北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) (焦海峰) |
