CN115925645A
审中
一种交联剂及其制备方法、光刻胶
本申请提供一种交联剂及其制备方法、光刻胶，属于光刻技术领域。光刻胶包括溶质和第一溶剂，其中，溶质包括70wt％～95wt％碱溶性树脂、1wt％～30wt％光致产酸剂、0.1wt％～15wt％酸淬灭剂和5wt％～20wt％上述的交联剂，第一溶剂的质量为碱溶性树脂的质量的1倍～10倍。本申请的交联剂能够用于添加到光刻胶中，并使得光刻胶的基体树脂的交联反应更加均匀，减少或避免局部分子量太大引起的形貌缺陷，得到的图形线条边缘更加垂直，且窗口更大。
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| 专利时间轴 | |
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| 专利类型/受理局 | APPLICATION( CN) |
| [标]当前申请（专利权）人 | 上海彤程电子材料有限公司,北京彤程创展科技有限公司,北京科华微电子材料有限公司,彤程新材料集团股份有限公司 |
| 当前申请（专利权）人 |
上海彤程电子材料有限公司,北京彤程创展科技有限公司,北京科华微电子材料有限公司,彤程新材料集团股份有限公司 201507 上海市奉贤区化学工业区目华路201号1幢904室,,, |
| [标]原始申请（专利权）人 | 上海彤程电子材料有限公司,北京彤程创展科技有限公司,北京科华微电子材料有限公司,彤程新材料集团股份有限公司 |
| 原始申请（专利权）人 | 上海彤程电子材料有限公司,北京彤程创展科技有限公司,北京科华微电子材料有限公司,彤程新材料集团股份有限公司 201507 上海市奉贤区化学工业区目华路201号1幢904室,,, |
| IPC分类号 |
IPC(8):
C07D251/70G03F7/004G03F7/038
+3
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| 技术主题分类 | |
| 应用领域分类 | |
| 发明人 |
王璨 孙嘉 李冰 鲁代仁 王文芳 董栋 张宁 |
| 代理机构 |
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) (吕露) |
