CN218812244U 有效 一种用于单晶炉的晶棒测径仪及单晶炉
1.一种用于单晶炉的晶棒测径仪,其特征在于,包括安装组件(1)、支撑组件(2)、夹具组件(3)、望远镜(4)和数显标尺组件(5);
所述安装组件(1)设置于单晶炉的观察窗口(6),所述安装组件(1)与所述支撑组件(2)可拆卸连接;
所述支撑组件(2)包括支撑架(21),所述支撑架(21)用以支撑所述数显标尺组件(5),所述数显标尺组件(5)能够沿所述观察窗口(6)的纵向方向做直线往复运动,以测量出晶棒(a)的直径;
所述夹具组件(3)能够相对于所述支撑架(21)滑动,所述夹具组件(3)与所述数显标尺组件(5)可拆卸连接,所述夹具组件(3)能够夹紧所述望远镜(4),所述夹具组件(3)能够与所述数显标尺组件(5)同步运动,以使所述望远镜(4)的能够观察单晶炉内的所述晶棒(a)并通过所述数显标尺组件(5)测量所述晶棒(a)的直径。
2.如权利要求1所述的用于单晶炉的晶棒测径仪,其特征在于,所述安装组件(1)包括安装框架(11)和两个固定耳座(12);
所述安装框架(11)固定安装于所述单晶炉的观察窗口(6),两个所述固定耳座(12)分别设置于所述安装框架(11)远离所述单晶炉的炉口(9)的一侧两端,且垂直于所述安装框架(11)的所在平面,两个所述固定耳座(12)均通过连接弯板(7)与所述支撑组件(2)可拆卸连接。
3.如权利要求2所述的用于单晶炉的晶棒测径仪,其特征在于,所述支撑架(21)包括支撑板(211)、分别设置于所述支撑板(211)两端的调整板(213)以及设置于所述支撑板(211)顶部端面的支撑滑轨(212);
所述支撑板(211)的底部端面与所述连接弯板(7)可拆卸连接;
两个所述调整板(213)与所述支撑板(211)的两端端面可拆卸连接;
所述支撑滑轨(212)沿所述支撑板(211)的纵向方向设置,且所述支撑滑轨(212)与所述夹具组件(3)滑动连接。
4.如权利要求3所述的用于单晶炉的晶棒测径仪,其特征在于,所述夹具组件(3)包括与所述支撑滑轨(212)滑动连接的滑块(31)、固定安装于所述滑块(31)顶部的滑块安装板(32)、垂直设置于所述滑块安装板(32)顶部的锁紧块(33)以及设置于所述锁紧块(33)上的夹持主体(34);
所述锁紧块(33)固定安装于靠近所述安装框架(11)的一侧,所述锁紧块(33)上开设有通孔(331);
所述夹持主体(34)穿过所述通孔(331)活动安装于所述锁紧块(33)上,所述夹持主体(34)能够夹持所述望远镜(4),且所述夹持主体(34)相对于所述锁紧块(33)靠近或者远离所述安装框架(11),以调节所述望远镜(4)距离所述安装框架(11)的横向位置;
所述夹持主体(34)能够沿所述通孔(331)的中心轴向相对于所述锁紧块(33)转动,以调节所述望远镜(4)转动角度。
5.如权利要求4所述的用于单晶炉的晶棒测径仪,其特征在于,所述夹持主体(34)包括夹持柱(341)和夹持头(342);
所述夹持柱(341)一端穿过所述通孔(331),所述夹持柱(341)的另一端与所述夹持头(342)固定连接接,所述夹持头(342)能够夹持所述望远镜(4)。
6.如权利要求5所述的用于单晶炉的晶棒测径仪,其特征在于,还包括锁紧扳手(35),所述锁紧块(33)的一侧壁开设有与所述通孔(331)相连通的通槽(332);
所述锁紧块(33)位于所述通槽(332)的上端形成抵接部(333),所述锁紧块(33)位于所述通槽(332)的下端形成固定部(334),所述抵接部(333)和所述固定部(334)上开设有与所述锁紧扳手(35)匹配的贯穿螺纹孔,通过旋转所述锁紧扳手(35)调节所述抵接部(333)和所述固定部(334)之间的压紧力以固定所述夹持柱(341)。
7.如权利要求6所述的用于单晶炉的晶棒测径仪,其特征在于,所述数显标尺组件(5)包括滑动数显主体(51)、数显尺杆(52)和两个固定块(53);
所述数显尺杆(52)的两端搭设于所述支撑架(21)的所述调整板(213)的顶部,并通过所述固定块(53)固定安装于所述支撑架(21)上;
所述调整板(213)上沿竖直方向开设有长条状通孔(2131)。
8.如权利要求7所述的用于单晶炉的晶棒测径仪,其特征在于,所述数显标尺组件(5)还包括标尺连接件(54);
所述标尺连接件(54)设置于所述滑块安装板(32)与所述滑动数显主体(51)之间,且所述标尺连接件(54)用于将所述滑动数显主体(51)与所述滑块安装板(32)相连。
9.如权利要求8所述的用于单晶炉的晶棒测径仪,其特征在于,所述标尺连接件(54)与所述滑块安装板(32)之间通过销柱(55)连接。
10.一种单晶炉,其特征在于,包括单晶炉炉体(8)和权利要求1-9任一项所述的用于单晶炉的晶棒测径仪;
所述单晶炉炉体(8)呈圆筒状,所述单晶炉炉体(8)的顶部中心具有炉口(9),所述单晶炉炉体(8)的顶部一侧设有所述观察窗口(6),所述用于单晶炉的晶棒测径仪可拆卸安装于所述观察窗口(6)。
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