[0001]相关申请的交叉引用 [0002]这是一件要求于2019年1月28日提交的序号为62/797,815的美国临时申请的权益的PCT申请，该申请通过引用整体并入本文。 技术领域 [0003]本公开涉及一种可调流量喷嘴系统；并且特别地，涉及一种可调流量喷嘴系统，该系统通过一个部件相对于另一个部件的选择性旋转来调节由每个可调流量喷嘴形成的集合开口的横截面积，其中每个部件具有相对于彼此重叠布置的相应开口以形成集合开口，用于控制每个单独的可调流量喷嘴的流速。 背景技术 [0004]半导体处理涉及从包括硅的基础晶片的表面选择性地去除半导体材料、聚合物或金属。这是通过在一批晶圆上喷洒各种化学品——腐蚀剂或溶剂——来实现的。影响去除率的众多因素之一是通过喷射喷嘴的液体流速(或体积)。目前，通过一次调节流向歧管中所有喷射喷嘴的总流量，通过每个喷射喷嘴的流量调节在“宏观”级别完成。也可以在歧管内更换单独的喷射喷嘴，但是每个喷射喷嘴的这种单独调节既费时，又可能不能精确地调节通过每个相应喷射喷嘴的液体流量。 [0005]正是考虑到这些观察，其中，构思和开发了本公开的各个方面。 附图说明 [0006]图1是可调流量喷嘴系统的透视图，示出可调流量歧管。 [0007]图2是图1的可调流量歧管的侧视图。 [0008]图3是图1的可调流量歧管的俯视图。 [0009]图4是图1的可调流量歧管的仰视图。 [0010]图5是沿图2的线5-5的可调流量歧管的横截面端视图，示出了设置在可调流量歧管内的多个可调流量喷嘴中的一个。 [0011]图6是用于图1的可调流量歧管的歧管主体的透视图。 [0012]图7是图6的歧管主体的仰视图。 [0013]图8是图6的歧管主体的俯视图，以虚线显示通道。 [0014]图9是图6的歧管主体的端视图，以虚线显示通道。 [0015]图10是沿图9的线10-10截取的歧管主体的剖视图。 [0016]图11是沿图10的线11-11截取的放大剖视图。 [0017]图12是图1所示的顶盖的透视图。 [0018]图13是图12的顶盖的俯视图。 [0019]图14是沿图13的线14-14截取的顶盖的剖视图。 [0020]图15是图14的顶盖的放大的剖视图，示出了沿顶盖限定的多个孔中的一个。 [0021]图16是可调流量喷嘴的侧视图。 [0022]图17是图16的可调流量喷嘴的仰视图。 [0023]图18是图16的可调流量喷嘴的透视图。 [0024]图19是图16的可调流量喷嘴的局部剖切透视图。 [0025]图20是图16的可调流量喷嘴的分解图。 [0026]图21是沿图16的线21-21截取的可调流量喷嘴的剖视图。 [0027]图22是喷射喷嘴的透视图。 [0028]图23是图22的喷射喷嘴的仰视图。 [0029]图24是沿图23的线24-24截取的喷射喷嘴的剖视图。 [0030]图25是杆保持器的透视图。 [0031]图26是图25的杆保持器的侧视图，以虚线示出了内部腔室和狭槽。 [0032]图27是图25的杆保持器的仰视图。 [0033]图28是沿图27的线28-28截取的杆保持器的剖视图。. [0034]图29是喷嘴保持器的透视图。 [0035]图30是图29的喷嘴保持器的侧视图，以虚线示出了上腔室和下腔室。 [0036]图31是图29的喷嘴保持器的俯视图。 [0037]图32是图29的喷嘴保持器的仰视图。 [0038]图33是沿图30的线33-33截取的喷嘴保持器的剖视图。 [0039]图34是限流器调节器的透视图。 [0040]图35是图34的限流器调节器的俯视图。 [0041]图36是图34的限流器调节器的侧视图。 [0042]图37是图34的限流器调节器的仰视图。 [0043]图38是图34的限流器调节器的端视图。 [0044]图39是用于在将杆保持器和限流器调节器一起转动时将喷嘴保持器保持在静止位置的调节键的透视图。 [0045]图40是图39的调节键的仰视图。 [0046]图41是图39的调节键的侧视图。 [0047]图42是图39的调节键的端视图。 [0048]图43是图39的调节键的俯视图，示出了呈扁平结构的突起。 [0049]图44A-44D是示出处于完全打开位置(图44A)、部分打开位置(图44B)、部分闭合位置(图44C)和完全闭合位置(图44D)的可调流量喷嘴的透视顺序图。 [0050]图45是联接到喷嘴保持器的第一调节键和与限流器调节器接合之前的第二调节键的侧视图。 [0051]图46是被联接以将喷嘴保持器保持在静止位置的第一调节键和被联接以同时旋转限流器调节器和杆保持器的第二调节键的俯视图。 [0052]图47是一个图示，显示了可调流量喷嘴系统中收集的质量作为喷嘴开口的函数。 [0053]图48是示出通过用于可调流量喷嘴系统的歧管收集的喷嘴质量的图形表示。 [0054]对应的附图标记表示附图中的对应元素。图中使用的标题不限制权利要求的范围。 具体实施方式