WO2023059634A1
PCT指定期内
窗腔晶圆
本文公开了用于形成窗腔晶片的技术和/或系统,其包括通过以下方式制造窗晶片:提供具有两个面的窗晶片衬底; 将基准点蚀刻到窗口晶片衬底的一个或多个面上; 在窗口晶片基板的一个或多个面上施加一种或多种光学涂层。 接下来,通过以下方式制造与窗口晶片分离的间隔晶片:提供具有两个面的间隔晶片基板; 在隔离晶圆基板上形成一列穿孔。 然后,将隔离晶圆与窗口晶圆键合形成窗口腔晶圆; 在窗腔晶圆的一个面上形成离散的金属框架。
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| 专利时间轴 | |
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| 专利类型/受理局 | APPLICATION( WO) |
| [标]当前申请（专利权）人 | MATERION CORPORATION |
| 当前申请（专利权）人 |
MATERION CORPORATION 6070 Parkland Boulevard,Mayfield Heights, Ohio 44124 US |
| [标]原始申请（专利权）人 | MATERION CORPORATION |
| 原始申请（专利权）人 | MATERION CORPORATION 6070 Parkland Boulevard,Mayfield Heights, Ohio 44124 US |
| IPC分类号 |
IPC(8):
G01J5/02G01J5/04G01J5/20H01L31/09B81C1/00B81B7/00B23K1/005
+7
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| 技术主题分类 | |
| 应用领域分类 | |
| 发明人 |
KELLER (c/o Optics Balzers AG) RETO (Neugrüt 35) KOBA (9496 Balzers LI) RICHARD (c/o Materion Corporation) |
