[权利要求2]

2.如权利要求1所述的方法,其中所述压电层(21)包括与所述柱(11)基本相同的压电材料(M)。

[权利要求3]

3.根据权利要求1或权利要求2所述的方法,其中所述柱体(11)和所述压电层(21)的每个压电材料(M)包括压电聚合物。

[权利要求4]

压电层(21)通过施加热量(H)熔化,直到它至少部分液化,并且热量(H)被施加到压电层(21)而不是柱(11)。 4.一种方法4.根据权利要求1至3中任一项所述的,其中没有添加。

[权利要求5]

5. 权利要求 1 至 4,其中当压入(P)到所述至少部分熔化的压电层(21)中时,所述柱(11)的所述相应端布置在向下方向。

[权利要求6]

6.根据权利要求1的方法,其中移除(R)所述第二基板(20),留下所述固化的压电层(21)作为桥接所述柱(11)的所述相应端部的平台;根据权利要求5至5中任一项所述的方法。

[权利要求7]

电接触(23)和/或互连(25)设置在柱(11)上,用于向压电材料(M)施加相应的电压或从压电材料(M)接收相应的电压。 7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法,其中该方法布置在压电层(21)上桥接。

[权利要求8]

在所述第二基板(20)上的所述压电层(21)固化后翻转所述第一基板(10),所述压电层(21)面向上所述柱(11) 8.根据前述任一项所述的方法权利要求,其中平台形成在顶部,随后的连接或组件沉积在该平台上。

[权利要求9]

6.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中,电触点(23)光刻沉积在由压电层(21)形成的桥结构上。

[权利要求10]

1至3,其中用于向压电材料(M)施加电势的第一电极(13)形成在柱(11)和第一基板(10)之间。 9.根据项目1中任一项的方法到 9。

[权利要求11]

所述柱(11)的所述阵列中的所述压电材料(M)施加电压(HV),同时电绝缘材料(I)设置在所述阵列中的所述柱(11)之间的间隙中。 11.根据任一项的方法11.前述权利要求中的一项,其中在所述极化之后去除所述电绝缘材料(I)。

[权利要求12]

12.根据权利要求1至11中任一项所述的方法,其中,在将压电层(21)连接到柱(11)之后,通过电晕极化对柱(11)进行极化。

[权利要求13]

13.根据权利要求1至12中任一项所述的方法制造的压电器件(100)在产生或检测声波中的用途。

[权利要求15]

第一电极(13)设置在第一压电层(12)与第一基板(10)之间;

电触点(23)在由所述第二压电层(21)形成的所述平台上形成至少一个第二电极;

电气装置(50),用于发送和接收所述第一和第二电极(13、23)的电信号以产生和/或测量声波;

15.如权利要求14所述的压电装置,包括: