本申请提供微电子元件及其制备方法、电子设备，涉及集成电路技术领域。微电子元件包括基底、支撑柱、调节结构和微镜结构；支撑柱的一端设置于基底，另一端连接微镜结构；调节结构包括用于存储电荷且相对设置的第一电极和第二电极，第一电极固定设置于支撑柱，第二电极设置于第一电极沿第一方向远离基底的一侧，且第二电极连接微镜结构的第一端；调节结构被配置为：当第一电极和第二电极所存储的电荷量变化时，第一电极驱动第二电极沿第一方向移动，以使第二电极带动微镜结构转动。本申请能够解决具有微振镜的微电子元件结构复杂，且微振镜偏转角度的调节过程难度大的问题。