导言： 　　随着科技的不断发展，精密芯片制造技术越来越成熟，在这一领域中，光刻机技术扮演着不可或缺的角色。光刻机技术专利是光刻机技术得以发展的重要保障，本文主要探讨了光刻机技术专利的应用和未来发展