光刻机专利是公开的　　随着科技的快速发展，光刻机成为了半导体制造过程中不可或缺的重要设备。光刻机专利的公开化，对于推进技术进步和促进产业发展均起到了重要作用。 　　什么是光刻机专利？ 　　光刻机专利指