技术专利光刻机技术的专利保护　　光刻机是一种利用光来制造微结构元件的重要设备，广泛应用于集成电路、微电子、光电子等领域。近年来，随着这些领域的快速发展，对光刻机的要求越来越高，尤其是在精度、生产效率和