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中国光刻机专利：技术创新推动产业发展　　随着信息产业和微电子技术的快速发展，光刻机作为其中不可或缺的关键设备，一直处于技术创新的前沿。近年来，中国的光刻机专利数量不断增加，技术水平稳步提高，助推了我国

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