中国光刻机专利：中国芯片制造业的里程碑　　近年来，中国的芯片制造业取得了长足的发展，其中光刻机是关键设备之一。作为芯片制造过程中最为核心的环节之一，光刻技术和设备的研究和应用一直是中国芯片制造业的重点