光刻机作为集成电路制造中不可或缺的设备，其技术含量和价值十分重要。因此，光刻机在专利方面的保护也成为了制造商及研发人员的关注点之一。那么，光刻机专利的保护期限是多少呢？通常情况下，光刻机技术属于高科技