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光刻技术是当今半导体产业不可或缺的工艺之一。它通过投射光源将芯片的图案照射到光刻胶上，并通过蚀刻等后续处理使图案转移到芯片上。然而，要想真正把光刻技术落地成为实用的生产工艺，仍然需要依赖于光刻机。然而

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