微机电系统(MEMS)作为一种新兴技术,结合了微电子技术与机械工程,广泛应用于传感器、致动器和其...
微机电系统(MEMS)作为一种新兴技术,结合了微电子技术与机械工程,广泛应用于传感器、致动器和其...
2025
微机电系统(MEMS)技术作为一种新兴的多学科交叉技术,结合了微电子技术、机械工程、材料科学等领...
2025
微机电系统(MEMS)作为一种集成微型机械和电子元件的技术,近年来在各个领域中得到了广泛应用。M...
2025
在微机电系统(MEMS)领域,传感器的灵敏度是衡量其性能的重要指标。提高MEMS传感器灵敏度的方...
2025
在现代科技发展的背景下,微机电系统(MEMS)技术作为一项关键技术,广泛应用于传感器领域。传感器...
2024
本文主要对MEMS(微机电系统)的制备和应用研究的很新进展进行综述。首先介绍了MEMS的概念和发...
2023
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