随着人们对精度、速度和效率要求越来越高，微型机电系统（MEMS）作为一种新兴技术得到越来越广泛的应用。作为其中的重要组成部分之一，微型致动器在实现微小机械运动和精确力量控制方面起到了关键作用。本文